フォトマスク関連データ

フォトマスク材料の特性について

フィルムマスク、エマルジョンマスク、クロムマスクについて、ベース基材、厚み、乳剤、乳剤厚み、温度湿度変化による伸縮について表したものです。当社の標準的な仕様を中心にご案内させていただきます。用途にあった材料をお選び下さい。

フィルムマスク エマルジョンマスク クロムマスク
基材 ベース基材 ポリエステル ソーダ ソーダ 石英
厚み 175(μm) 1.6 2.3 3.0 3.2 5.0(mm) 2.3 3.0 4.8(mm) ご相談
サイズ ~650*780(mm) ~914*1473(mm) ~1250*2100(mm) ご相談
温度1℃による変化 0.001(%/℃) 0.00081(%/℃) 0.00081(%/℃) 0.00005(%/℃)
同上(1m換算) 10.0(μm/℃) 8.1(μm/℃) 8.1(μm/℃) 0.5(μm/℃)
相対湿度1%による変化 0.0014(%)
同上(1m換算) 14.0(μm/%) 0 0 0
遮光膜 材質 銀塩乳剤(ラス) 銀塩乳剤(ハイレゾ) クロム薄膜 クロム薄膜
膜厚 6~8(μm) 6~8(μm) 850~1150(Å) 850~1200(Å)
解像性 (最小ライン幅) 20.0(μm) 10.0(μm) 5.0(μm) 5.0(μm)
特徴 膜強度
フリンジ
描画精度範囲 - エッジより20mm内側 ガラスエッジより40mm内側 ガラスエッジより40mm内側
32x43インチ以上のクロム薄膜の均一性 - - ガラスエッジより25mm内側 ガラスエッジより25mm内側
32x43インチ以上のレジスト塗布の均一性 - - ガラスエッジより40mm内側 ガラスエッジより40mm内側
長所 軽量、扱いが容易 温湿度変形が少ない 膜強度大
超大型サイズ有り
膜強度大
熱膨張率極小
コスト比較
用途(主なもの) PWB、一般 PWB、PDP PDP、LCD LSI、LCD

現在稼働中の描画装置

ソノコムで稼働中の主な描画装置です。フィルムからクロムまで高品質のフォトマスクをお届けします。

1.機種

メーカー名 機種名
Ucamco社 calibr8tor 2500HD
大日本スクリーン製造(株) FR8500LS

2.機種別描画対象物と対応データ種別

メーカー名 機種名 対応処理 描画対象物
フィルム ラス-ガラス HRP クロムマスク
Ucamco社 calibr8tor 2500HD PHOTO ラス
大日本スクリーン製造(株) FR8500LS VIOLD
ファインモード
PHOTO

3.仕様

メーカー名 機種名 描画範囲 ビーム径 分解能 繰返精度 最小線幅 最小線間
Ucamco社 calibr8tor 2500HD 680x780 0.0032 0.0015 ±0.002 0.030 0.030
0.0032 0.00125 ±0.002 0.020 0.020
0.0032 0.001 ±0.002 0.010 0.010
大日本スクリーン製造(株) FR8500LS VIOLD
2000x2500 0.004 0.0005 ±0.001 0.010 0.010
0.002 0.00025 ±0.001 0.006 0.006
0.001 0.000125 ±0.001 0.004 0.004

単位(mm)

※ビーム径、分解能、繰返精度、最小線幅、最小線間の数値は、装置自体の仕様です。(マスク出荷時の仕様とは異なります。)

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